風機過濾單元是自帶風機的高效過濾裝置，簡稱FFU(Fan Filter Unit)。近十年內新建的芯片廠中大量使用FFU，它主要用在大面積層流潔凈廠房的屋頂送風。

該產品內配風機，安裝維護方便，可以輕易地配合任何吊頂骨架，以達到潔凈等級100級、10級和1級要求，廣泛應用于各類工業、生物潔凈室。SX-FUU風機過濾送風單元采用單相或三相的高效率，使用壽命長、無須保養的馬達，并提供備選的變速控制器和電子整流式電動馬達，能降低能量損耗及冷負荷，從而降低運行成本。在額定風量下可達到高的總靜壓值，采用低阻力的無隔板過濾器，并結合風機的高總靜壓，在額定氣流下能提供50到100PA的機外靜壓。

FFU風機過濾單元自循環式加新風系統，適用于熱、濕負荷較少的潔凈車間，通過在吊頂夾層裝設去濕機組（直接蒸發式冷卻器或暗裝式風機盤管），余熱余濕通過自循環吸收。也可以在夾道裝設干盤管，防止濕盤管的冷凝水會造成污染。在這種系統中，因為吊頂夾層被風機抽成負壓，在安裝時大大降低技術難度。如果FFU和支撐架間密封性不足，污染物也難以滲入車間內。同時對夾層內的電纜橋架、工藝管線均應嚴格要求，緩慢對FFU內高效過濾器的堵塞速度。

FFU設有初、高效兩級過濾網。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。適用于在各種環境中獲得潔凈環境。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環境提供高質量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環境的理想部件。

風機過濾單元（FFU），安裝時注意遠離加熱器，溫度超過耐受的范圍就會扭曲變形，在風機過濾單元不放置易燃物防止火災發生。不在附近使用爆炸性或揮發性的化學物品，防止爆炸事故發生。